Применение
Прибор используется для измерения и анализа шероховатости поверхности и профиля прецизионных компонентов в сфере полупроводников, компьютерной электроники, сверхточной и оптической обработки, микро- и наноматериалов, микроэлектромеханических систем.
Примеры применения
Прибор предназначен для измерения и анализа различных изделий, компонентов и материалов, форм поверхности и характеристик профиля, таких как плоскостность, шероховатость, волнистость, внешний вид, поверхностные дефекты, истирание, коррозия, разрывы, положение отверстий, ярусность, кривизна, деформация и т. д.
| Технические характеристики | ||
|---|---|---|
|
Источник света |
Белый светодиод |
|
|
Разрешение |
1024 × 1024 пикселей |
|
|
Оптическая линза |
10× (2,5×, 5×, 20×, 50×, 100× опционально) |
|
|
Оптическое увеличение |
0,5× (0,75×, 1× опционально) |
|
|
Держатель объектива |
3 отверстия |
|
|
Программное обеспечение |
XtremeVision |
|
|
Предметный стол по осям X и Y |
Размер |
320 × 200 мм |
|
Диапазон перемещения |
140 × 110 мм |
|
|
Нагрузка |
10 кг |
|
|
Метод управления |
Моторизированный |
|
|
Наклон |
± 5 ° ручной |
|
|
Диапазон перемещения по оси Z |
100 мм, моторизированный |
|
|
Диапазон сканирования по оси Z |
10 мм |
|
|
Разрешение по оси Z |
0,1 нм |
|
|
Отражательная способность тестируемого объекта |
0,05 ~ 100% |
|
| Характеристики линз | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
Кратность увеличения |
2.5× |
5× |
10× |
20× |
50× |
100× |
||
|
Диаметр отверстия |
0,075 |
0,13 |
0,3 |
0,4 |
0,55 |
0,7 |
||
|
Оптическое разрешение при @550 нм (мкм) |
3,7 |
2,1 |
0,92 |
0,69 |
0,5 |
0,4 |
||
|
Глубина фокусировки (мкм) |
48,6 |
16,2 |
3,04 |
1,71 |
0,9 |
0,56 |
||
|
Рабочее расстояние (мм) |
10,3 |
9,3 |
7,4 |
4,7 |
3,4 |
2,0 |
||
|
Поле HхV (мм) |
Разрешение 1024 × 1024 пикселей |
0,5× |
3,84 × 3,84 |
1,92 × 1,92 |
0,96 × 0,96 |
0,48 × 0,48 |
0,192 × 0,192 |
0,096 × 0,096 |
|
0,75× |
2,56 × 2,56 |
1,28 × 1,28 |
0,64 × 0,64 |
0,32 × 0,32 |
0,128 × 0,128 |
0,064 × 0,064 |
||
|
1× |
1,92 × 1,92 |
0,96 × 0,96 |
0,48 × 0,48 |
0,24 × 0,24 |
0,096 × 0,096 |
0,048 × 0,048 |
||
| Требования к рабочему месту | |
|---|---|
|
Рабочее место: |
Отсутствие сильного магнитного поля, Отсутствие едких газов |
|
Рабочая температура: |
15~30 °C Изменение <1°C / 15 мин |
|
Влажность: |
5−95%, Отсутствие конденсации воды |
|
Вибрация окружающей среды: |
VC-C или лучше |
|
Доступ сжатого воздуха: |
0,6 МПа без воды и масла Диаметр шланга 6 мм |
|
Максимальная мощность: |
300 Вт |
Стандартная комплектация:
- Прибор – 1 шт.
- Линза: 10х – 1 шт.
- Предметный стол с автоматическим перемещением объектов по осям X и Y – 1 шт.
- Видеосистема: 1024 * 1024 пикселей.
- Оптическое увеличение: 0,5х – 1 шт.
- Калибровочный модуль – 1 комплект.
- Джойстик – 1 шт.
- Настольный компьютер и монитор – 1 комплект.
- Программное обеспечение XtremeVision.
- Электрошкаф – 1 шт.
- Компрессор – 1 комплект.
- Кейс для опций – 1 шт.
- Линзы: 2,5×, 5×, 20×, 50×, 100×
- Оптическое увеличение: 0,75х, 1х
- Вакуумный предметный стол (для печатных плат)
- Моторизированный держатель объектива с 5 отверстиями.